FAST Linked Data

FAST Authority File

Search FAST Linked Data

Immersion lithography

Information about the Authority

Leader  00000cz a2200037n 45 0
001  fst01747014
003  OCoLC
005  20201106120917.0
008  100428nn anznnbabn || ana d
0167 ‎‡a fst01747014‏ ‎‡2 OCoLC‏
0247 ‎‡a http://id.worldcat.org/fast/1747014‏ ‎‡2 uri‏
040 ‎‡a OCoLC‏ ‎‡b eng‏ ‎‡c OCoLC‏ ‎‡f fast‏
150 ‎‡a Immersion lithography‏
450 ‎‡a Lithography, Immersion‏
550 ‎‡w g‏ ‎‡a Immersion in liquids‏ ‎‡0 (OCoLC)fst01200911‏
550 ‎‡w g‏ ‎‡a Microelectronics‏ ‎‡0 (OCoLC)fst01019757‏
550 ‎‡w g‏ ‎‡a Microlithography‏ ‎‡0 (OCoLC)fst01019883‏
688 ‎‡a LC (2017) Subject Usage: 2‏
688 ‎‡a WC (2017) Subject Usage: 14‏
750 0 ‎‡a Immersion lithography‏ ‎‡0 (DLC)sh2008009220‏
750 4 ‎‡a Immersion lithography‏ ‎‡4 RM‏ ‎‡0 http://en.wikipedia.org/wiki/Immersion_lithography‏ ‎‡0 https://www.wikidata.org/wiki/Q1076175‏

Different Formats Available

Record Views